低溫等離子廢氣凈化器的工作原理：是通過氣體放電所產生的活性好粒子與污染物分子發生碰撞，使其解離和氧化，從而達到廢氣凈化的目的。低溫等離子體技術被較為廣泛的應用于低濃度含VOCs廢氣和惡臭異味氣體的處理。工程實踐表明，該技術對于低濃度的含VOCs廢氣(一般宜低于300mg/m3)和惡臭異味氣體具有較好的凈化效果。

低溫等離子廢氣凈化器是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子廢氣凈化器是采用值得信賴的吸附-分解-碳化新工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法廢氣處理設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需專人負責，不產生二次污染，更換及維護保養方便（可在設備正常運行情況下更換維護操作）。

低溫等離子廢氣凈化器是利用等離子體，以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去開啟、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過液體吸收單元、水霧過濾網、等離子體單元、催化單元等多級凈化，將硫氧化物、氮氧化物等氣態污染物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。

等離子原理概述：等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特別的情況下可以以第四中狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。這類物質所處的狀態稱為等離子體狀態，又稱為物質的第四態。等離子體中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于開啟狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

等離子清洗/刻蝕技術是等離子體特別性質的具體應用。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現確定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應。

低溫等離子廢氣凈化器凈化機理：

采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生較較、濃度較高、高電能的活性自由基，在毫秒及的時間內，瞬間對無益廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染降解成二氧人碳和水易處理的物質。

利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使無益廢氣經多級凈化后終達標排放。

新穎的結構設計將低溫等離子體的發生裝置和催化氧化裝置地結合在同一凈化設備內，大的限度地發揮了復合凈化地效能，使之滿足占地小，重量輕，能耗少，效率好地設計要求。